真空泵最重要的13個性能參數(shù)：
 

　　1、極限壓強(qiáng)：極限壓強(qiáng)又稱極限真空，單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng),即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力 。
 

　　2、抽氣速率：抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡單的說即是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)能抽走氣體的體積數(shù)，是重要性能指標(biāo)之一，簡稱抽速。
 

　　3、抽氣量：真空泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的氣體流量。
 

　　4、起動壓強(qiáng)：真空泵的起動壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
 

　　5、泵的前級壓強(qiáng)：真空泵的前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
 

　　6、最大前級壓強(qiáng)：真空泵口最大前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)。
 

　　7、最大工作壓強(qiáng)：真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
 

　　8、壓縮比：壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
 

　　9、何氏系數(shù)：泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
 

　　10、抽速系數(shù)：泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
 

　　11、返流率：泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
 

　　12、水蒸氣允許量：水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
 

　　13、最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)：最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa 。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。